100mm titanium target

به طور کلی، تارگت‌های تیتانیوم (Titanium Targets) به عنوان یکی از اجزای اصلی در فرآیندهای رشته‌های مختلف صنعتی، به خصوص فرآیندهای روکش‌دهی فیزیکی (Physical Vapor Deposition - PVD) استفاده می‌شوند. این فرآیند به وسیله کوره‌های PVD که یکی از اصلی‌ترین ابزارهای مورد استفاده در این صنعت است، انجام می‌شود. کوره‌های PVD از تکنولوژی‌های پیشرفته‌ای استفاده می‌کنند که با استفاده از آن‌ها، امکان تولید روکش‌های بسیار نازک و دقیق از مواد مختلف امکان‌پذیر می‌شود. در فرآیند PVD، تارگت‌های تیتانیوم به عنوان منبع مواد پایه برای تولید روکش‌هایی از جمله نیترید تیتانیوم، اکسید تیتانیوم و غیره استفاده می‌شوند. این تارگت‌ها به شکل انواع مختلفی مانند ورق، سیلندر یا دیسک طراحی می‌شوند تا با توجه به نیازهای خاص فرآیند، بتوانند به آسانی در داخل کوره‌های PVD قرار گیرند و مواد تیتانیوم مورد نیاز را تامین کنند. استفاده از کوره‌های PVD با تارگت‌های تیتانیوم در بسیاری از صنایع مانند صنعت خودروسازی، صنایع فضایی، الکترونیک، ساخت و تولید ابزارهای پزشکی و غیره بسیار رایج است. این فرآیند با ایجاد روکش‌هایی با ویژگی‌های مختلف از جمله سختی، مقاومت به خوردگی، هدایت حرارتی و بسیاری ویژگی‌های دیگر، می‌تواند بهبودهای چشمگیری در عملکرد و کارایی محصولات نهایی ایجاد کند. در نتیجه، تارگت‌های تیتانیوم و کوره‌های PVD به عنوان دو عامل مهم و اساسی در فرآیندهای صنعتی بازی می‌کنند و اهمیت بسیاری در تولید و بهبود محصولات صنعتی دارند.


فرایند شیمیایی در عملیات PVD

در فرآیند PVD، تبخیر تارگت تیتانیوم و رسوب دادن بخار تیتانیوم بر روی سطوح هدف از طریق فرآیندهای فیزیکی صورت می‌گیرد، بنابراین تغییرات شیمیایی اصلی به‌صورت شیمیایی بسیار ساده و درجه اولی صورت می‌گیرد. اما، در فرآیند PVD با گازهای راکتیو یا اضافه کردن یک ترکیب شیمیایی مورد نظر، می‌توان تبدیلات شیمیایی بیشتری را ایجاد کرد. به طور مثال:

  1. استفاده از گازهای راکتیو:

    • با اضافه کردن گازهایی مانند نیتروژن، اکسیژن یا هیدروژن به جریان گاز حمل‌کننده، می‌توان ترکیبات شیمیایی جدیدی را ایجاد کرد.
    • برای مثال، با اضافه کردن نیتروژن به جریان گاز، اکسید تیتانیوم نیترید (TiN) یا تیتانیوم کربید (TiC) می‌توان تشکیل داد که ویژگی‌های مکانیکی و فیزیکی متفاوتی دارند نسبت به تیتانیوم خالص.
  2. استفاده از پوشش‌دهی شیمیایی:

    • در برخی از حالات، پوشش‌دهی شیمیایی می‌تواند از طریق واکنش‌های شیمیایی بین تارگت و گاز حمل‌کننده انجام شود.
    • به عنوان مثال، در فرآیند PVD با استفاده از گازهای راکتیو مانند متان یا بوتان، می‌توان پوشش‌های کربیدی ایجاد کرد که ویژگی‌های مکانیکی بهتری دارند.

بنابراین، در صورت استفاده از گازهای راکتیو یا ترکیبات شیمیایی دیگر، اتفاقات شیمیایی در فرآیند PVD می‌توانند پیچیده‌تر شوند و تبدیلات شیمیایی بیشتری را فراهم کنند که به تولید پوشش‌های خاص و با ویژگی‌های منحصربه‌فرد کمک می‌کنند.

بدون دیدگاه

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *