فرایند شیمیایی در عملیات PVD
در فرآیند PVD، تبخیر تارگت تیتانیوم و رسوب دادن بخار تیتانیوم بر روی سطوح هدف از طریق فرآیندهای فیزیکی صورت میگیرد، بنابراین تغییرات شیمیایی اصلی بهصورت شیمیایی بسیار ساده و درجه اولی صورت میگیرد. اما، در فرآیند PVD با گازهای راکتیو یا اضافه کردن یک ترکیب شیمیایی مورد نظر، میتوان تبدیلات شیمیایی بیشتری را ایجاد کرد. به طور مثال:
-
استفاده از گازهای راکتیو:
- با اضافه کردن گازهایی مانند نیتروژن، اکسیژن یا هیدروژن به جریان گاز حملکننده، میتوان ترکیبات شیمیایی جدیدی را ایجاد کرد.
- برای مثال، با اضافه کردن نیتروژن به جریان گاز، اکسید تیتانیوم نیترید (TiN) یا تیتانیوم کربید (TiC) میتوان تشکیل داد که ویژگیهای مکانیکی و فیزیکی متفاوتی دارند نسبت به تیتانیوم خالص.
-
استفاده از پوششدهی شیمیایی:
- در برخی از حالات، پوششدهی شیمیایی میتواند از طریق واکنشهای شیمیایی بین تارگت و گاز حملکننده انجام شود.
- به عنوان مثال، در فرآیند PVD با استفاده از گازهای راکتیو مانند متان یا بوتان، میتوان پوششهای کربیدی ایجاد کرد که ویژگیهای مکانیکی بهتری دارند.
بنابراین، در صورت استفاده از گازهای راکتیو یا ترکیبات شیمیایی دیگر، اتفاقات شیمیایی در فرآیند PVD میتوانند پیچیدهتر شوند و تبدیلات شیمیایی بیشتری را فراهم کنند که به تولید پوششهای خاص و با ویژگیهای منحصربهفرد کمک میکنند.
بدون دیدگاه